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  • 半導(dǎo)體超純水設(shè)備 保障半導(dǎo)體高質(zhì)量發(fā)展

    2023年4月28日 11:51

    談?wù)撈鸪兯膹?fù)雜工藝,涉及多門學科,包括物理、化學、光化學、機械、空氣動力學等,依各種原水水質(zhì)和客戶要求的不同,超純水的制備工藝大體分為預(yù)處理、初級制備和拋光處理三個步驟。整個制造過程中采用的工藝技術(shù)復(fù)雜而精細,不容偏差,制備難度涉及至少...